热扫描探针技术研讨会顺利召开

发布者:钟芳发布时间:2018-07-02

2018628日热扫描探针3D纳米直写技术研讨会在唐仲英楼B501顺利召开。本次会议由Quantum DesignSwissLitho与南京大学现代工程与应用科学学院联合主办。吴争鸣博士、张伟华教授和Samuel Bisig博士分别围绕会议主题做了相关报告,并对三维热探针加工技术进行了实地演示。来自南京各高校的二十余位师生参加了会议。

会议围绕NanoFrazor热扫描探针3D纳米直写设备展开,该设备由Swisslitho公司生产,固体微结构物理国家重点实验室于2018年初购入该设备,目前安置于唐仲英楼微加工中心并已经投入使用。本次研讨会一方面加强了华东地区相关课题组之间的技术合作,同时也为固体微结构实验室的相关课题组提供了一个技术研讨与培训的机会。

研讨会中,吴争鸣博士首先介绍了热扫描探针技术的发展历史,NanoFrazor设备的原理,特点及其相关应用。热扫描探针技术由上世纪80年代IBM公司的固态扫描探针形貌加工技术发展而来,NanoFrazor利用热扫描探针技术可以实现多种聚合物表面的纳米结构直写,该设备使用一个可精确控制位移并且可加热至1300℃高温的纳米探针,对聚合物薄膜的特定区域进行接触从而使该区域的聚合物分解,以此来获得想要的结构。该设备可以实现XY方向最高10nmZ方向最高1nm的加工精度,并且可以实现所写结构的实时监测,同时该设备还可以实现其他微加工技术难以实现的3D、套刻、拼接结构的一步直写。目前,已有14NanoFrazor设备在全球各地投入运行并且已在微纳光学,微电子学,二维材料等领域实现了重要应用。

接下来张伟华教授对NanoFrazor在微纳光学中的应用做了介绍。张伟华教授谈到,相比于电子学集成,目前光子学集成具有三维复杂结构,多种材料等更高要求,所以原本针对微电子学的加工技术难以满足集成光子学的需要,而NanoFrazor热扫描探针设备能够很好的弥补传统微加工技术的不足。

最后,Samuel Bisig博士对NanoFrazor设备的一些工艺特性进行了介绍,包括该设备可以使用的各种聚合物,直写后图形的转移工艺如二维,三维的刻蚀、lift-off、倒模、自组装等。

三场报告结束后,在场师生与几位嘉宾围绕热探针技术的原理,转移工艺及其在二维材料方面的应用进行了热烈的讨论交流。如果对此设备感兴趣想要获取更多资料,可以访问Swisslitho公司官网:https://www.swisslitho.com/或者与张伟华教授联系。

图:与会师生合照

(孟岩,张伟华)