Dektak-XT 表面轮廓仪

发布者：李世凤发布时间：2020-12-06浏览次数：222

扫描长度：50um-55mm（自动台200mm））

垂直测量范围： 1mm

垂直分辨率：最大1Å（6.5um量程范围)

探针压力：1－15mg

最小可达0.03mg（需配超微力传感器）

探针曲率半径：0.2-25um 标配2um

超细探针：50nm（定制探针）

样品台尺寸：4英寸，6英寸，8英寸