Dektak-XT 表面轮廓仪

发布者:李世凤发布时间:2020-12-06浏览次数:53

扫描长度:50um-55mm(自动台200mm))
垂直测量范围: 1mm
垂直分辨率:最大6.5um量程范围)    
探针压力:115mg

最小可达0.03mg(需配超微力传感器)

探针曲率半径:0.2-25um   标配2um
超细探针:50nm(定制探针)
样品台尺寸:4英寸,6英寸,8英寸