SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope)

发布者:崔玉双发布时间:2020-12-10浏览次数:38

 

0.8nm   @30KV ;0.8nm@15KV 1.6nm   @ 1 KV  

放大倍率:12-1000000x   (SE)100-1000000X   (BSE)

加速电压:0.02V-30KV

探针电流:4   pA   - 20 nA

室:X/Y=130mm ; Z = 50mm; T = -3 to 70°;   R = 360° 连续旋转

配备探头:TV;  INLENS;    SE2;  ASB;  ESB