能谱仪(EDS)

发布者:崔玉双发布时间:2020-12-10浏览次数:103


  该设备为扫描电镜的附件,可实现对样品表面元素成分的微区检测,其空间分辨率可达到纳米,可进行定性及定量分析,分析元素范围从3号元素Li95号元素Am

 

  在入射电子束的作用下,样品表面原子会产生具有特定能量的X射线。该仪器通过捕获和分析出不同能量X射线的强度,从而推导出样品的元素成分及其含量。


  采用能量选择型EsB探测器,集成式AsB探测器,高效In-lens SE 探测器,Everhart-Thornley探测器,红外CCD